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旋转接头在半导体设备制造中的缺点

时间:2018-05-25 10:01 编辑:腾博会诚信为本 点击: 次
  在半导体设备制造行业,存在晶片加工的多个工艺流程,在这些工艺流程中很多都需要在旋转接头工作台旋转的过程中,允许有水、真空、气的通过,不过现有的旋转接头大多只允许水、真空、气一种介质通过,而且大多只有一个通道,因此只能加工一种规格的晶片,要实现多通道水、真空、气的通过,就需要采用更多的旋转接头,从而产生设备体积的增大,成本的增加,以及设备的运行不稳定等等。
高压旋转接头
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